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油・空圧機器/制御機器/計測器 （ID:1454）

ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡。


東京精密
製品名 / 機種名
OPT-SCOPE NEW
導入メリット
非接触のため、傷をつけたくないワークの表面性状を高精度に測定が可能。 また白色干渉顕微鏡のためあらゆる材質のワークの測定が可能。 日本国内でシェアを握る欧米系のメーカーと精度面で勝負可能です。
製品説明
３D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、ナノ表面性状を低倍率レンズで測定できるから広範囲を１ショットで高速測定が可能です。レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。
導入事例・事例
日本を代表する大学の研究センターに導入。日本の産学官ミラー研究の最上位機関。 半導体系A社：静電チャックエンボス上面の三次元表面粗さ、ダレの評価。
利用シーン
工場
展示商品コンセプト
その他
課題解決
会社HP： https://www.accretech.com/jp/

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